ARCHIVE 06电火花加工机的谱系

电火花加工机是不用刀具切削,而是在油或水中让电极与工件之间的间隙每秒产生数百至数万次微小火花(放电),用其热量一点点熔化并抛除金属的机床。即使是淬火钢、硬质合金这样的硬材料,或是刀具进不去的细槽和尖角也能加工。它分为把刻好形状的电极压向工件来复制形状的电火花成形机,和像钢丝锯一样移动细金属丝(电极丝)切出轮廓的电火花线切割机两种,据说在日本其用途的 7–8 成是模具[2]。电火花加工诞生于战时的苏联,日本在世界上也很早就开始研究,到 1980 年代已占世界产值的一半以上。用国立科学博物馆的调查报告与资料数据库、当时的技术书和目录、厂家沿革逐一核实,并为每项史实注明了出处(国立国会图书馆的资料附帧号)。

不用刀具
靠火花
来加工!

吉祥物 Chips
1950 年代电火花成形机1970 年代电火花线切割机1980 年代数控电火花成形机现在高精度电火花线切割机
电火花加工机的演变(示意图,并非特定机型。左起第 1 台和第 3 台是让电极靠近工作液中工件的成形机,第 2 台和最右边是用张紧在上下导向器之间的电极丝切割的线切割机)

日本机床整体在 1982 年产值跃居世界第一的经过,写在第 1 章中;1958 年用富士通数控驱动的牧野数控铣床,写在第 2 章中。本章从电火花加工机本身以及制造它们的公司的角度进行追溯。在现场使用电火花加工的场景之一,请参阅断丝锥的取出方法。

电火花加工的发现与日本研究的开端(1943–1952 年)

放电损伤金属的现象自 18 世纪起就为人所知,而一般认为,现在电火花加工的开端,是 1943 年苏联物理学家拉扎连科夫妇在论文中提出并申请专利的、把它用于加工的方法。两人从防止电气触点因放电而损耗的研究出发,反过来想到了利用这种损耗来去除金属[2]。1955 年的技术书《精密仕上法》记载,夫妇二人于 1946 年因这项成果获得斯大林奖,英国从 1952 年前后开始推出商品[1]。

战时消息也传到了日本。据同一本书,1942 年前后,作为海军航空方面的情报传来“美国在用火花或电弧打孔、切断”;据后来创办电火花加工机公司的井上洁说,三菱重工业水岛制作所也做过实验,但只达到熔断的程度[1]。

东京大学的凤诚三郎与“放电加工法”

战后的 1947 年,夫妇二人的研究通过新闻纪录片和文献传到了东京大学的凤诚三郎教授。研究过电弧放电中电极损耗现象的凤教授立即理解了原理,1948 年开始研究,次年建成了实验设备。把这种加工方法命名为“放电加工法”的也是凤教授。1950 年代,东北大学、千叶大学、新潟大学等大学,铁道技术研究所等研究机构以及企业的研究所相继加入,1955 年成立了“电加工研究会”,后来发展为电加工学会(1967 年)[2]。

最早的国产机与厂家的诞生(1953–1964 年)

1953 年,作为老牌机床厂家池贝铁工所的关联公司,日本放电加工研究所诞生了。创始人井上洁是在三菱重工业研究过电火花加工的技术人员,与当时池贝铁工所社长冈崎嘉平太意气相投,创办了这家公司[2]。

1954 年:Japaxtron D3

次年 1954 年 3 月,该公司完成了国产第一台实用电火花加工机“Japaxtron D3”,交付东京工业大学。这是一台与欧美不同、构思独特的机床,也被称为火花放电穿孔机。现保存在日本工业大学工业技术博物馆,2024 年被认定为重要科学技术史资料(未来技术遗产,第 373 号)[3][4]。同在 1954 年出版的凤诚三郎、仓藤尚雄所著《放电加工》(日本第一本学术专著)介绍了日本放电加工研究所、小池酸素工业、旭泵发动机制作所、大泽制作所 4 家国产厂家。不过小池酸素的业务十余年后就中断了,另外 2 家也极为短命[2]。

三菱与西部电机工业的加入

1958 年,三菱造船与三菱电机联手,由三菱造船(广岛)负责机械部分、三菱电机负责电源等电气部分,开始生产电火花加工机 DM-101[2]。1963 年的小型机 DM-50B 采用高频叠加电路电源,防止放电集中在一处,使加工稳定[5]。1964 年业务归并到三菱电机,改在名古屋制作所生产[2]。1962 年 10 月,福冈的西部电机工业(今天的西部电机)在 1953 年前后起研究电火花加工的安川电机的协助下开发了电火花成形机,在展会上展出了 E-304 型[2][7]。

当时电火花加工机还是很少见的机床。1963 年的《世界的机床工业》介绍,在美国 1958 年的机床设备调查中电火花加工机有 578 台,只占全部的极小部分[6]。即便如此,在日本也开始普及。1963 年的《模具加工技术》写道,有池贝·Japax、三菱造船·电机、小池酸素、西部电机、日立造船、牧野铣床等 10 家厂家,一千几百台在运转,并举出 Japax 的 D-104H 型为代表机型[9]。1960 年,日本放电加工研究所已更名为Japax公司[3],在 1963 年的《国产机床综合目录》中,并列刊载了池贝铁工的“自动精密放电型雕床”D104H 型等 4 种机型和三菱造船的“三菱 Diax 电火花加工机”DM-50、DM-102 型[8]。

研究的开端1948 年东京大学凤诚三郎,命名为“放电加工法”[2]
国产第 1 台1954 年 3 月日本放电加工研究所 Japaxtron D3[3]
1963 年的厂家10 家一千几百台在运转(《模具加工技术》)[9]

电火花成形机在模具领域普及(1965–1971 年)

早期的电火花加工以在淬火钢上打“通孔”为主。由于电极本身也会损耗,不适合加工有底的复杂形状(模具的型腔)。1960 年代后半期,半导体电源问世,电极损耗大幅减少,可以用于模具的三维有底型腔,电火花加工机终于开始真正普及。这一时期,家电和汽车公司为追赶欧美而增加投资,模具公司也在扩充设备[2]。

这个时代 Japax 与三菱电机被称为“两强”。Japax 的 D100M 是继承 D3 系谱的机型,累计销量为业内最多,1969 年增加了晶体管电源。三菱电机 1967 年推出的 DM-250 型用液压伺服驱动主轴,可安装 50kg 的大电极。这是为了加工锻模的有底型腔,成为畅销机型[2]。在海外,1965 年苏联诞生了带数控的电火花线切割机,1969 年瑞士阿奇(Agie)公司诞生了数控电火花线切割机 DEM-15[2]。

电火花线切割机的诞生与数控化(1972–1979 年)

成形之后是线切割。用细电极丝作电极,像钢丝锯一样切出轮廓,就能在淬火状态下直接切出冲裁模(冲压模)的凸模和凹模,无需制作电极。不过,要让电极丝按图纸移动需要数控,而当时数控很昂贵,因此从第一台国产机算起,约 20 年后才在日本实现产品化[2][10]。

1972 年:DWC-50 与 EW-20

1972 年,三菱电机推出了国产第一台电火花线切割机DWC-50(DWC50S-LT1 型)。它不用昂贵的数控,而是用美国开发的光学式图纸仿形装置,以光追踪图纸上的线条,按缩小比例驱动工作台。这台机床率先满足了期待已久的市场,2024 年被认定为重要科学技术史资料(未来技术遗产,第 374 号)[10][2][11]。不过,模拟仿形的精度有限,数字数控的必要性变得明确[2]。

同在 1972 年 10 月,西部电机工业制造了以小型计算机数控驱动的EW-20 型,在第 6 届日本国际机床展览会上展出。这是国产第一台数控电火花线切割机,该公司称其为世界第一台 CNC 电火花线切割机。2025 年被认定为重要科学技术史资料(未来技术遗产,第 395 号)[12][2][7][13]。电火花线切割需要根据加工速度进给、在即将短路时后退等计算量大的控制,因此需要的不是当时用继电器组成的数控,而是小型计算机或微型计算机数控[2]。同年三菱电机还推出了用于电火花成形机的数控装置 DAC-10、20[2]。

1974 年:3 家齐聚

1974 年在大阪举办的第 7 届日本国际机床展览会上,西部电机工业的 EW-30 型(微型计算机数控)、三菱电机的 DWC-50M-H(小型计算机数控)、Japax 的 L250A(小型计算机数控)同台亮相。当时主要 3 家厂家的数控电火花线切割机齐聚,这一年成为真正普及的开端[2]。在成形加工方面,也出现了用晶体管把电极损耗降到 1% 以下的“电极无损耗电源”UF105C 等[14]。

发那科、牧野、沙迪克的加入

1975 年,两家后来的有力厂家加入进来。富士通发那科(今天的发那科)于 7 月推出 TAPECUT MODEL A 等 3 种数控电火花线切割机,采取以低价抢占份额的策略(当时报纸的标题是“以不到其他公司一半的价格销售”)[2][16]。1976 年的 TAPECUT SERIES D 可通过 CNC 使电极丝倾斜,切出冲裁模的斜度(锥度),数据库称其为世界首创[18]。牧野铣床制作所于 1975 年与瑞士阿奇公司技术合作,1976 年开始国产化电火花线切割机 DEM-15[2]。

1976 年 8 月,从 Japax 分出的沙迪克在横滨诞生[2][19]。同年推出了日本第一台摇动加工装置 SIX-LORAN,让电极不仅上下、还在 XY 方向微量移动,把侧面加工得光洁;还与牧野铣床制作所合作,制造了日本第一台微型计算机数控电火花成形机(机床由牧野、电源和数控由沙迪克负责)[2][17]。牧野后来解除了与两家公司的合作,从 1980 年起用自己的技术制造电火花加工机[2]。

国产第一台线切割1972 年三菱电机 DWC-50(光学式图纸仿形)[10]
国产第一台数控线切割1972 年 10 月西部电机工业 EW-20 型(小型计算机数控)[12]
普及的开端1974 年主要 3 家的数控线切割齐聚展会[2]

自动穿丝、高精度化与世界第一的份额(1980–1997 年)

电火花线切割机在加工中途电极丝断了就会停下。要把 φ0.2mm 左右的电极丝自动穿过间隙很窄的导向器和长达 1m 的弯曲路径很难,从 1980 年前后起,各公司开始推出自动穿丝装置。日本最早的装置是发那科从德国西门子公司引进技术制造的(1979 年),到 1980 年代中期主要厂家的装置都已齐备。即使在加工途中断丝,机床也能自己重新穿丝并从中断处继续加工,这个功能各公司的装置一开始就具备[2]。

占世界产值的一半以上

在国内机电一体化的发展和急速增长的模具需求的支撑下,日本产品在性能上追上了欧美产品,价格上则占优势。1981 年日本电火花加工机的产值为 446 亿日元,约占世界推计 900 亿日元的 50%,1984 年达到 796 亿日元(5,600 台),占 55%[2]。电火花线切割机的产量从 1975 年到 1985 年的 10 年间增加了约 10 倍,同一 10 年间模具的出货额也增长了约 5 倍[2]。这一时期也多次遭到欧洲厂家发起的专利纠纷[2]。

机床也变得更快、更精确。三菱电机于 1982 年推出世界上首次搭载 MOSFET 电源的 F 系列,把最大加工速度提高约 2 倍至 110mm²/min,1984 年的 DWC-90G 达到 200mm²/min[22]。沙迪克于 1982 年推出日本第一台可使用油性工作液的电火花线切割机 330W,以防止硬质合金生锈[23]。牧野铣床制作所 1980 年推出的电火花成形机 EDNC64,在日本率先采用加工槽三面可下降的结构,后来成为行业标准[20]。西部电机工业的 EWP-300A(1984 年)是用龙门式立柱和光栅尺抑制热变形的高精度机[24]。

从 Japax 到沙迪克

直到 1980 年前后一直是国内龙头的 Japax,在两次石油危机后陷入不振,1991 年 4 月接受沙迪克注资,归入其旗下。分出去的公司接手原来的公司,在当时成为热门话题[2][19]。电火花加工机整体的国内产量在 1990 年前后达到最多,此后由于日元升值,各公司陆续在海外建厂[2]。

微细加工与 10 秒穿丝

1990 年代是需要制造小而轻的电子设备用模具的时代。牧野铣床制作所的 UPH-1(1993 年)面向半导体引线框架等的模具,采用电极丝水平走丝的独特结构,在业内首次实现 φ0.03mm 电极丝的自动穿丝。2024 年被认定为重要科学技术史资料(未来技术遗产,第 376 号)[25][26]。西部电机于 1995 年把平均约 90 秒的穿丝时间缩短到 10 秒,“10 秒穿丝”成为其他公司的目标[2][7]。吸收熟练技术人员经验的模糊控制,也在 1991 年由三菱电机、1993 年由沙迪克引入[2]。

世界份额约 50%→55%1981 年 446 亿日元,1984 年 796 亿日元、5,600 台[2]
线切割产量10 年约增 10 倍1975–85 年[2]
可自动穿丝的最细电极丝φ0.03mm1993 年,牧野铣床制作所 UPH-1[25]

★现在:直线电机、微细加工与新用途(1998 年起)

1998 年,沙迪克推出用直线电机驱动主轴(Z 轴)的电火花成形机(世界首创)。把此前每分钟数米的 Z 轴速度提高到 36m/min,通过快速上下移动电极排出加工屑来加快加工,成为整个行业转向开发高速 Z 轴的契机[27][2]。2000 年代出现了测量机床温度、补偿热变形的功能(三菱电机 EA8PV ADVANCE,2008 年,保证精度 ±3μm),以及在板厚变化处自动改变电气条件以免出现条纹的控制(2001 年三菱电机、2005 年牧野铣床制作所、2009 年发那科的“AI 脉冲控制 2”)[2]。

放电不仅用来去除金属,也用于堆积金属。三菱电机从 1998 年起销售放电表面处理,利用放电把电极材料附着在表面形成膜层;2013 年又发布了用多根电极丝把坚硬的 SiC(碳化硅)一次切成晶圆的加工机[2]。2010 年代以来,通过网络进行运转管理和维护、故障诊断的服务已投入实用[2]。

2023 年国立科学博物馆的调查总结说,中高端的世界市场由瑞士的 GF Machining Solutions(由原阿奇和原夏米尔合并而成)、西班牙的 ONA、德国的 EXERON 以及日本的 5 家(西部电机、沙迪克、发那科、牧野铣床制作所、三菱电机)瓜分。东欧、美国、英国、德国、法国的厂家大多已消失,台湾和中国有很多低价机床的厂家。日本厂家一半以上的生产已转到海外工厂,但调查认为其在世界上的份额依然很高[2]。2024 年 Japaxtron D3、DWC-50、22-NC、UPH-1 这 4 台、2025 年 EW-20 被认定为重要科学技术史资料(未来技术遗产)[4][11][21][26][13]。

在现场有什么用?选购二手电火花加工机时,看“成形还是线切割”“数控的世代(光学仿形、硬接线、小型计算机、微型计算机)”“电源的种类(RC 电路、晶体管、MOSFET)”“工作液是水还是油”“有没有自动穿丝、能穿的最细电极丝”,就能知道这台机床的世代,以及可以交给它加工什么样的模具和零件。

⑂厂家谱系图

电火花加工机历史中出现的主要厂家的更名情况。色带颜色变化处表示公司名称改变。Japax(原日本放电加工研究所)于 1991 年归入沙迪克旗下(箭头)。牧野铣床制作所和发那科绘出了作为机床、数控公司的全部沿革,三菱只绘出了电火花加工机业务的沿革。

18801900192019401960198020002020西部电气工业所西部电机工业西部电机牧野商店制作部牧野竖铣床制作所牧野铣床制作所富士通的数控部门富士通发那科发那科三菱造船+三菱电机三菱电机(名古屋制作所)日本放电加工研究所Japax沙迪克色带的分隔处是公司名称的变更。红色箭头指向合并、业务转让的去向。右端的 › 表示至今仍存续的公司。
出处:各公司的沿革与社史 [7][29][16][2][3][19]

可以参观的机床

这里是保存在博物馆的机床,以及在国立科学博物馆产业技术史资料数据库中标为“公开”的企业资料。开放日期及能否参观,请在前往之前向各设施、公司确认。也欢迎一并参看车床一章·铣床、加工中心一章中可以参观的机床。

日本工业大学 工业技术博物馆埼玉县南埼玉郡宫代町国产第一台实用电火花加工机 Japaxtron D3(1954 年,未来技术遗产第 373 号)、微型计算机数控电火花成形机 22-NC(1980 年,第 375 号)、可使用油性工作液的电火花线切割机 330W(1982 年)、MOSFET 电源的电火花线切割机 DWC-90G(1985 年)。按机种、年代顺序展示机床的博物馆(机械遗产第 91 号)。免费入馆(闭馆日请查看设施的介绍)[3][17][23][22][28]
三菱电机 FA 交流中心爱知县名古屋市东区电火花成形机 DM-50B(1963 年),以及日本第一台电火花线切割机 DWC-50 的出厂第 2 台(1973 年,未来技术遗产第 374 号)。系统化调查的一览中标为仅对客户公开。参观请向公司咨询[5][10][2]
西部电机福冈县古贺市CNC 电火花线切割机 EW-20 型(机体为 1974 年的量产型,数控装置、电源、操作盘为 1972 年展会上展出的原物。未来技术遗产第 395 号)。参观请向公司咨询[12][13]
发那科 稻叶纪念馆山梨县南都留郡忍野村可进行锥度加工的电火花线切割机 TAPECUT SERIES D(1976 年)。数据库中标为“公开”。参观请向公司咨询[18]
牧野铣床制作所 厚木事业所神奈川县爱甲郡爱川町加工槽可下降的电火花成形机 EDNC64(1980 年),以及可自动穿 φ0.03mm 电极丝的电火花线切割机 UPH-1(1993 年,未来技术遗产第 376 号)。数据库中标为“公开”。参观请向公司咨询[20][25][26]
沙迪克(横滨总公司、石川县加贺事业所)神奈川县横滨市都筑区、石川县加贺市总公司有“电极无损耗电源”UF105C(1974 年),加贺事业所有用直线电机驱动 Z 轴的电火花成形机 AM35L。数据库中标为“公开”(总公司的电源在系统化调查的一览中标为仅对客户公开)。参观请向公司咨询[14][27]

⌛年表

这是本章核实过的全部史实。编号对应出处,“帧”指国立国会图书馆数字馆藏的页面,点击即可打开该资料(面向个人传送的资料需要登录)。

发现与研究最早的国产机进入模具线切割与数控自动穿丝、世界第一现在1940195019601970198019902000201020202030194319481953195819631972197519791984199119982024黄色圆点是重要史实(下表中的 ★,拥挤处省略年份)。时代分界的年份只是大致参考。

电火花加工的发现与日本研究的开端1943–1952 年

年史实厂家、机型参考资料
1942年前后昭和17年作为海军航空方面的情报,“美国在用火花或电弧打孔、切断”的消息传到日本。据后来创办日本放电加工研究所的井上洁说,三菱重工业水岛制作所也做过实验,但只达到熔断的程度,没有成功—[1·帧55]
1943年昭和18年★苏联物理学家拉扎连科夫妇在论文中提出把电气触点因放电而侵蚀的现象用于金属的去除加工,并申请专利(一般认为这是现在电火花加工原理的开端)。1946 年因这项成果获得斯大林奖—[2][1·帧55]
1948年昭和23年★1947 年得知拉扎连科夫妇研究的东京大学凤诚三郎教授开始研究,次年建成实验设备。把这种加工方法命名为“放电加工法”东京大学[2]
1952年前后昭和27年英国推出商品化的电火花加工机(据 1955 年的《精密仕上法》)—[1·帧55]

最早的国产机与厂家的诞生1953–1964 年

年史实厂家、机型参考资料
1953年昭和28年★日本放电加工研究所作为池贝铁工所的关联公司成立。创始人井上洁是在三菱重工业研究过电火花加工的技术人员,与当时池贝铁工所社长冈崎嘉平太意气相投而创办了公司。安川电机也在这一时期开始研究电火花加工日本放电加工研究所[2]
1954年昭和29年凤诚三郎、仓藤尚雄著《放电加工》(Corona 社)出版。这是日本第一本电火花加工学术专著,介绍了日本放电加工研究所、小池酸素工业、旭泵发动机制作所、大泽制作所 4 家国产厂家的产品—[2][1·帧56][1·帧57]
1954年3月昭和29年★日本放电加工研究所完成国产第一台实用电火花加工机“Japaxtron D3”,交付东京工业大学。这是一台与欧美不同、构思独特的机床,也被称为火花放电穿孔机。2024 年被认定为未来技术遗产(第 373 号)日本放电加工研究所Japaxtron D3[3][2][4]
1955年昭和30年大学、研究机构、企业汇聚的“电加工研究会”成立(2 年后关西成立“电子加工恳谈会”,两者为母体,1967 年成立电加工学会)—[2]
1957年昭和32年苏联 ENIMUS 研究所制造了世界第一台电火花线切割机“A207 型”。当时还没有数控,把图纸光学放大 10–50 倍,用光追踪线条来驱动工作台—[2]
1958年昭和33年★三菱造船(机械部分)与三菱电机(电源等电气部分)分工合作,开始生产电火花加工机 DM-101三菱造船、三菱电机DM-101[2][5]
1958年昭和33年美国 1958 年的机床设备调查(麦格劳-希尔公司)中,电火花加工机为 578 台,只占全部机床的极小部分—[6·帧50]
1960年昭和35年日本放电加工研究所更名为 Japax。同年在布拉格举行第 1 届国际电加工会议(ISEM)Japax[3][2]
1962年10月昭和37年西部电机工业(今天的西部电机)在安川电机的协助下开发电火花成形机,在国际机床展览会上展出 E-304 型和台式机。日立造船也展出了液压伺服的试制机,但未能形成业务西部电机工业E-304 型[2][7]
1963年昭和38年三菱的小型电火花成形机 DM-50B。采用高频叠加电路电源,防止放电集中在一处,使加工稳定。同年的目录中刊载了池贝铁工的自动精密放电型雕床 D104H 型等 4 种机型,以及三菱 Diax 电火花加工机 DM-50、DM-102 型三菱造船、三菱电机DM-50B[5][8·帧83][8·帧447][8·帧448]
1963年昭和38年★《模具加工技术》列举池贝·Japax、三菱造船·电机、小池酸素、西部电机、日立造船、牧野铣床等 10 家电火花加工机厂家,写道有一千几百台电火花加工机在运转。代表机型是 Japax 的 D-104H 型—[9·帧146][9·帧162]
1964年昭和39年结束与三菱造船的分工,将业务归并到三菱电机,开始在名古屋制作所生产电火花加工机三菱电机[2]

电火花成形机在模具领域普及1965–1971 年

年史实厂家、机型参考资料
1965年昭和40年苏联制造出世界第一台装有数控装置的电火花线切割机—[2]
1966年昭和41年日本首次参加在布尔诺(捷克斯洛伐克)举行的第 2 届 ISEM—[2]
1967年昭和42年三菱电机推出 DM-250 型。用液压伺服驱动主轴(Z 轴),可安装 50kg 的大电极,用于加工锻模的有底型腔,电源可从高频叠加、晶闸管、晶体管中选择。成为畅销机型三菱电机DM-250-DE-90T[2]
1967年昭和42年以电加工研究会和电子加工恳谈会为基础,成立电加工学会—[2]
1969年昭和44年1960 年代后半期,Japax 与三菱电机被称为电火花加工机的“两强”。继承 D3 系谱的 Japax D100M 于 1969 年增加了晶体管电源(QC 电源)。半导体电源大幅减少了电极损耗,开始普及到模具的三维有底型腔加工JapaxD100M[2]
1969年昭和44年瑞士阿奇公司完成数控电火花线切割机“DEM-15”,在巴黎的展会上展出—[2]

电火花线切割机的诞生与数控化1972–1979 年

年史实厂家、机型参考资料
1972年昭和47年三菱电机推出电火花加工机用数控装置 DAC-10、DAC-20。读取纸带驱动 XYZ 轴,可以依次加工许多孔,或自动切换加工条件三菱电机DAC-10、DAC-20[2]
1972年昭和47年★三菱电机推出国产第一台电火花线切割机 DWC-50(DWC50S-LT1 型)。不用昂贵的数控,而是用美国开发的光学式图纸仿形装置追踪图纸线条。2024 年被认定为未来技术遗产(第 374 号)三菱电机DWC-50[10][2][11]
1972年10月昭和47年★西部电机工业制造以小型计算机数控驱动的电火花线切割机 EW-20 型,在第 6 届日本国际机床展览会上展出。这是国产第一台数控电火花线切割机,该公司称其为世界第一台 CNC 电火花线切割机。2025 年被认定为未来技术遗产(第 395 号)西部电机工业EW-20 型[12][2][7][13]
1974年昭和49年★在大阪的第 7 届日本国际机床展览会上,西部电机工业的 EW-30 型(微型计算机数控)、三菱电机的 DWC-50M-H(小型计算机数控)、Japax 的 L250A(小型计算机数控)同台亮相。主要 3 家的数控电火花线切割机齐聚,这一年成为真正普及的开端—[2]
1974年昭和49年电火花成形机的电源 UF105C。用晶体管作开关,把电极损耗降到 1% 以下,被称为“电极无损耗电源”。国立科学博物馆的数据库称其开发由后来创办沙迪克的古川利彦主导—UF105C[14]
1974年昭和49年西部电机工业的电火花成形机 E-202H。用当时主流的液压伺服驱动主轴,搭载能加快粗加工、使精加工光洁的叠加电压电路(DP 电路)。至今仍在福冈县的一家公司用于生产西部电机工业E-202H[15]
1975年昭和50年牧野铣床制作所与瑞士阿奇公司技术合作,1976 年开始国产化电火花线切割机 DEM-15。同在 1976 年也与沙迪克合作,制造装有沙迪克数控电源的电火花成形机。后来解除与两家公司的合作,决定从 1980 年起用自己的技术制造牧野铣床制作所[2]
1975年7月昭和50年★富士通发那科(今天的发那科)推出 TAPECUT MODEL A 等 3 种数控电火花线切割机,以低价抢占份额(当时报纸的标题是“以不到其他公司一半的价格销售”)发那科TAPECUT MODEL A[2][16]
1976年昭和51年沙迪克与牧野铣床制作所制造日本第一台微型计算机数控电火花成形机(机床由牧野、电源和数控由沙迪克负责)沙迪克、牧野铣床制作所[17][2]
1976年昭和51年发那科的 TAPECUT SERIES D。可通过 CNC 使电极丝倾斜来加工拔模斜度(锥度),数据库称其为世界首创。次年起 Japax、三菱电机、西部电机工业也推出锥度加工装置。同年 Japax 推出宣称精度 5μm 以下的精密小型机 L200(被视为高精度机的开端)发那科TAPECUT SERIES D[18][2]
1976年8月昭和51年★沙迪克从 Japax 分离出来,在横滨创业。同年推出日本第一台摇动加工装置 SIX-LORAN(让电极也在 XY 方向移动来精加工侧面)沙迪克[2][19]
1979年昭和54年★发那科从德国西门子公司引进技术,推出日本第一台自动穿丝装置(断丝时机床自己重新穿丝)。到 1980 年代中期主要厂家的装置都已齐备。同年三菱电机推出精度 3–5μm 的 DWC-90P发那科[2]

自动穿丝、高精度化与世界第一的份额1980–1997 年

年史实厂家、机型参考资料
1980年昭和55年牧野铣床制作所制造采用自主技术的电火花成形机 EDNC64。在日本率先采用加工槽三面可下降的结构,使工件装卸和准备工作变得轻松。这种结构后来成为行业标准牧野铣床制作所EDNC64[20][2]
1980年昭和55年沙迪克的电火花成形机 22-NC。可同时控制 XYZ 轴和旋转电极的 C 轴,可用于复杂的模具。是现存且公开的微型计算机数控电火花成形机中最古老的一台。2024 年被认定为未来技术遗产(第 375 号)沙迪克22-NC[17][21]
1981年昭和56年★日本电火花加工机产值达到 446 亿日元,约占世界产值(推计 900 亿日元)的 50%—[2]
1982年昭和57年三菱电机推出世界上首次搭载 MOSFET 电源的电火花线切割机 F 系列,最大加工速度提高约 2 倍,达到 110mm²/min。同年沙迪克推出日本第一台可使用油性工作液的电火花线切割机 330W,以防止硬质合金生锈三菱电机F 系列[22][23]
1984年昭和59年★日本电火花加工机产值达到 796 亿日元(5,600 台),占世界的 55%。统计中单独统计电火花线切割机产量的数据,以这一年的 3,481 台为最早—[2]
1984年昭和59年三菱电机的 DWC-90G 达到业界最高的 200mm²/min,并搭载用管子引导的早期自动穿丝装置。西部电机工业推出用龙门式立柱和光栅尺抑制热变形、该公司第一台高精度机 EWP-300A三菱电机、西部电机工业DWC-90G、EWP-300A[22][24]
1975–85年昭和60年电火花线切割机的产量在 10 年间增加约 10 倍。主要销售对象模具的出货额也从 1975 年的 2,721 亿日元增长到 1985 年的 1 万 3,067 亿日元,约增长 5 倍—[2]
1990年前后平成2年电火花加工机的国内产量达到顶峰(模具产值的顶峰在 1991 年)。由于日元升值,各公司开始在海外建厂(沙迪克 1988 年在泰国、1994 年在中国苏州、2006 年在厦门)—[2][19]
1991年平成3年吸收熟练技术人员经验的模糊控制进入电火花加工机。1991 年三菱电机的 V 系列,1993 年沙迪克的神经模糊 NF 系列三菱电机、沙迪克[2]
1991年4月平成3年★直到 1980 年前后一直是国内龙头的 Japax,因石油危机后的不振接受沙迪克注资,归入其旗下。分出去的公司接手原来的公司,在当时成为热门话题。1992 年 10 月沙迪克受让 Japax 电火花加工机部门的部分营业沙迪克、Japax[2][19]
1993年平成5年★牧野铣床制作所推出面向半导体引线框架等微细零件模具的电火花线切割机 UPH-1。采用电极丝水平走丝的结构,在业内首次实现 φ0.03mm 电极丝的自动穿丝(同年沙迪克实现 φ0.05mm 的自动穿丝)。2024 年被认定为未来技术遗产(第 376 号)牧野铣床制作所UPH-1[25][2][26]
1995年8月平成7年西部电机用自动穿丝装置 AWF-3 把穿丝时间缩短到 10 秒(此前约 90 秒)。“10 秒穿丝”成为其他公司的目标西部电机AWF-3[2][7]

现在:直线电机、微细加工与新用途1998 年起

年史实厂家、机型参考资料
1998年平成10年★沙迪克推出用直线电机驱动主轴(Z 轴)的电火花成形机 AM 系列(世界首创)。Z 轴速度从每分钟数米提高到 36m/min,通过快速上下移动电极排出加工屑,加工变快沙迪克AM 系列[27][2]
1998年平成10年三菱电机推出放电表面处理(EDC),利用放电把电极材料堆积在表面形成膜层三菱电机[2]
2008年平成20年三菱电机的电火花成形机 EA8PV ADVANCE。测量机床温度、计算热变形并补正位置,保证加工精度 ±3μm三菱电机EA8PV ADVANCE[2]
2009年平成21年在电火花线切割中,为避免在板厚变化处出现台阶(条纹)而自动改变电气条件的控制在各公司普及(2001 年三菱电机的 SL 控制、2005 年牧野铣床制作所的 TG Control、2009 年发那科的 AI 脉冲控制 2)发那科[2]
2013年平成25年三菱电机发布用多根电极丝把坚硬的 SiC(碳化硅)块一次切成晶圆的多线放电切片加工机。同年西部电机和三菱电机推出使用油性工作液的电火花线切割机,主要各公司都备齐了水和油两种机型三菱电机[2]
2016年平成28年第 18 届 ISEM 在东京举行(1989 年的第 9 届在名古屋)—[2]
2023年令和5年国立科学博物馆完成《电火花加工机技术系统化调查》。中高端世界市场由瑞士的 GF Machining Solutions(原阿奇与原夏米尔)、西班牙的 ONA、德国的 EXERON 与日本的 5 家(西部电机、沙迪克、发那科、牧野铣床制作所、三菱电机)瓜分,日本厂家一半以上的生产已在海外工厂—[2]
2024年9月令和6年★Japaxtron D3、DWC-50、22-NC、UPH-1 这 4 台被认定为国立科学博物馆的重要科学技术史资料(未来技术遗产)(第 373–376 号)。2025 年西部电机的 EW-20 也被认定(第 395 号)—[4][11][21][26][13]

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参考资料

国立国会图书馆的资料于 2026 年 10 月通过面向个人的数字化资料传送服务的全文检索进行了核实,并写明了所用的帧。国立科学博物馆的《电火花加工机技术系统化调查》(第32集)可从该馆“技术系统化调查报告书”一览(产业机械相关)阅读全文。作者是在三菱电机长期从事电火花加工机开发的技术人员。数据库和厂家沿革也在同月核实。“国产第一”“日本第一”“世界第一”等说法,正文中写作“该公司称……”“数据库称……”的,是该资料自身的表述。

  1. 《精密仕上法》小峰工业出版(1955)帧 55·56·57
  2. 岩崎健史《电火花加工机技术系统化调查》国立科学博物馆《技术系统化调查报告》第32集(2023)
  3. 国立科学博物馆 产业技术史资料数据库“电火花成形机 Japaxtron D3”
  4. 国立科学博物馆 重要科学技术史资料(未来技术遗产)第00373号“电火花成形机 Japaxtron D3”的登录资料表
  5. 国立科学博物馆 产业技术史资料数据库“电火花成形机 DM-50B”
  6. 工作机械研究会编《世界的机床工业》富士弘报社(1963)帧 50
  7. 西部电机 有价证券报告书中的“沿革”(EDINET DB)
  8. 《国产机床综合目录 1963年版》帧 83·447·448
  9. 《模具加工技术》朝仓书店(1963)帧 146·162
  10. 国立科学博物馆 产业技术史资料数据库“电火花线切割机 DWC-50”
  11. 国立科学博物馆 重要科学技术史资料(未来技术遗产)第00374号“电火花线切割机 DWC-50”的登录资料表
  12. 国立科学博物馆 产业技术史资料数据库“电火花线切割机 EW-20型等”
  13. 国立科学博物馆 重要科学技术史资料(未来技术遗产)第00395号“电火花线切割机 EW-20”的登录资料表
  14. 国立科学博物馆 产业技术史资料数据库“电火花成形机用电源 UF105C”
  15. 国立科学博物馆 产业技术史资料数据库“电火花成形机 E-202H”
  16. 发那科“发那科的历史”
  17. 国立科学博物馆 产业技术史资料数据库“电火花成形机 22-NC”
  18. 国立科学博物馆 产业技术史资料数据库“电火花线切割机 FANUC TAPECUT-SERIES D”
  19. 沙迪克 有价证券报告书中的“沿革”(EDINET DB)
  20. 国立科学博物馆 产业技术史资料数据库“电火花成形机 EDNC64”
  21. 国立科学博物馆 重要科学技术史资料(未来技术遗产)第00375号“电火花成形机 22-NC 8000”的登录资料表
  22. 国立科学博物馆 产业技术史资料数据库“电火花线切割机 DWC-90G”
  23. 国立科学博物馆 产业技术史资料数据库“电火花线切割机 330W”
  24. 国立科学博物馆 产业技术史资料数据库“电火花线切割机 EWP-300A”
  25. 国立科学博物馆 产业技术史资料数据库“电火花线切割机 UPH-1”
  26. 国立科学博物馆 重要科学技术史资料(未来技术遗产)第00376号“电火花线切割机 UPH-1”的登录资料表
  27. 国立科学博物馆 产业技术史资料数据库“电火花成形机 AM35L”
  28. 日本机械学会“机械遗产 第91号 日本工业大学收藏的历史性机床群”
  29. 牧野铣床制作所“沿革”